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實驗現場

半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統

來源：www.gameqk.com 發布時間：2025-05-23 17:14:57 瀏覽次數：
單位名稱：半導體企業
實驗內容：ALD
臭氧機型：3S-B20

半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統

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 3S-B20臭氧輸送系統，配置Apex H30 高濃度臭氧發生器，雙光路紫外臭氧在線檢測儀，質量流量計，泄露報警器等，獨特的風冷設計，體積小、濃度高、穩定性好，是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。


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